高いコストパフォーマンスを実現した株式会社MTK社製の枚葉式WET洗浄装置です。
High cost performance Single-wafer-Wet Station by MTK Co,.Ltd.

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☆半導体　　☆FPD　　☆太陽電池　　☆MEMS　　　　　　　　　
 

●ウェハーサイズ　　２～１２インチ
●ウェハー材質　　　Si、SiC、GaAs、GaN、ガラス基板
●処理チャンバー　　１～４チャンバー
●薬液　　　　　　　最大２種類（オプション３種類）
●オプション　　　 　２流体ジェットノズル（推奨）、メガソニックノズル
●ファシリティ　　　 純水、窒素、CDA、電源、真空（搬送用）
 

枚葉式の優れた性能をお届けします。
●処理後のパーティクル除去率が極めて高い。



●高性能、コストパフォーマンスに優れた装置設計
　市販のロボットを使用しない独自の搬送機構を採用し、
　装置価格を抑え、低価格でありながら高性能を実現。

●スモールフットプリントを実現。　　（装置仕様により、装置サイズは変わります。）
　　※８インチウェハー対応の場合
　　装　置　本　体：１１００(幅)×８００(奥行)×１９００(高さ)
　　薬液供給ユニット：５１０(幅)×８００(奥行)×１８００(高さ)

●ウェハー表裏の同時両面洗浄が可能
 


　　通常、枚葉式洗浄装置ではウエハ裏面をバキューム吸着してウエハ処理するため、
　　表面のみしか液を 当てません。
　　またウエハ外周部を保持して処理する場合は、液をウエハ裏面に当てるためには、
　　ハードウェア面で制約があり、困難でしたが、
　　独自の手法でウエハ両面を同時に洗浄する技術を実現しました。

●薬液、純水の使用量が少ない。
　　　枚葉式とバス式（浸漬式）の性能比較
 

●ドライエッチング残渣の薬液処理

●お客様の仕様により、装置のカスタマイズが可能です。
　　・２流体ジェットスプレー　・メガソニックスプレー　・ブラシ洗浄
　　・オゾン水　・水素水　・角基板対応など
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●高オゾン濃度　最大３０ｐｐｍ

●オゾン濃度立ち上がりが早く、２分以内に最大濃度達成

●コンパクトサイズ　４００ｍｍ(幅)×５５０ｍｍ(奥行)×８００ｍｍ(高さ)

●接合部は石英と樹脂の為、メタルコンタミ無し
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